製品情報 Product information

標準型クライオポンプ [30型]
CRYO-U30H

特長

  1. 大型成膜装置、スペースチャンバー等に最適。
  2. 水に対する排気速度は最大。

外形寸法 (単位:mm)

標準仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 28,000
水素 43,000
アルゴン 23,000
70,000
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 2.7×103(20)
水素 7.4×102(5.6)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 7.8×108(5.9×106)
水素 1.5×107(1.1×105)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 240/200(50/60)
吸気口フランジ VG-750
コンプレッサユニット C30VR×2
質量 Kg 175.0

*メンテナンスインターバル:16,000時間

U22H,U30Hは、外国為替および外国貿易管理法の規定により戦略物資等輸出規制品に該当します。
日本国外に持ち出す際は日本国政府の輸出許可申請等必要な手続きをお取りください。

商品に関するお問い合わせ

商品に関するご質問はお気軽にお問い合わせください。
コンサルタントが御社にあったプランをご提案致します。

メールで問い合わせる

商品に関する資料のダウンロードはこちら