产品信息

标准低温泵30型
CRYO-U30H

特征

  1. Suitable for large deposition systems, space chambers, etc.
  2. Larger pumping speed for water.

外形尺寸(单位:mm)

标准规格

排气速度(20℃) 氮气 L/s 28,000
氢气 43,000
氩气 23,000
70,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 氩气 Pa・L/s(Torr・L/s) 2.7×103(20)
氢气 7.4×102(5.6)
排气量 氩气 Pa・L(Torr・L) 7.8×108(5.9×106)
氢气 1.5×107(1.1×105)
冷却下降时间 min(Hz) 240/200(50/60)
吸气口法兰 VG-750
压缩机装置 C30VR×2
重量 kg 175.0

*保养周期:16,000小时

Export permission of the Ministry of Economy, Trade and Industry is required for export of U22H and U30H.
Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
COMBINATION OF CRYOPUMP AND COMPRESSOR UNIT

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