ULVAC CRYOGENICS INC|サイトマップ
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豊富なラインナップ、多くの実績に裏付けられた優れた信頼性、高性能と高品質のクライオポンプです
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クライオポンプ
トラブルシューティング
トラブル例【1】クライオポンプの引きが悪い
再生を行う
リーク
トラブル例【2】ヘリウム圧が低下する
セルフシーリングカップリングからのリーク
トラブル例【3】トラブルシューティング(冷却時間が長くなった他)
クライオポンプ、マニホールドの真空度不良
冷凍機の故障
温度計の故障
トラブル例【4】クライオポンプの異常音・異常振動
電気的故障
ヘリウムガスの純度低下
圧縮機からの油汚染
機械的故障
ユーザーズトレーニング
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