製品情報 Product information

標準型クライオポンプ [16型]
CRYO-U16

特長

  1. 中、大型生産装置に最適です。
  2. バッチ式大型成膜装置に最適。
  3. 熱負荷に強いタイプ。

外形寸法 (単位:mm)

標準仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 5,000
水素 10,000
アルゴン 4,200
16,000
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 1.4×103(11.0)
水素 4.1×102(3.1)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 4.3×108(3.3×106)
水素 2.4×106(1.8×104)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 110/100(50/60)
吸気口フランジ UVG-400
コンプレッサユニット C30VR
質量 Kg 61.0

*メンテナンスインターバル:16,000時間
*移動ベースはオプションです

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