製品情報 Product information

標準型クライオポンプ [8型]
CRYO-U8HL

特長

  1. 高さ方向が短く、コンパクトなデザイン。
  2. 装置のダウンサイジングに対応。
  3. マルチ運転(最大3台)が可能。
  • 他のサイズのポンプでも製造が可能。

外形寸法 (単位:mm)

標準仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 1,500
水素 2,200
アルゴン 1,200
4,000
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 1.2×103(8.9)
水素 1.6×102(1.2)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 1.6×108(1.2×106)
水素 1.2×106(9.0×103)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 100/90(50/60)
吸気口フランジ UVG-200
コンプレッサユニット C10, C10AT, C10ES
質量 Kg 20

*メンテナンスインターバル:16,000時間

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