製品情報 Product information

標準型クライオポンプ [8型]
CRYO-U8H

特長

  1. 軽量・コンパクトで出荷台数も多く、クライオポンプのスタンダード。
  2. 実験装置、小型生産装置向き。
  3. マルチ運転(最大3台)が可能。
  4. 超高真空(10-8Pa以下)が可能。

外形寸法 (単位:mm)

標準仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 1,700
水素 2,700
アルゴン 1,400
4,000
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 1.2×103(8.9)
水素 2.4×102(1.8)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 1.0×108(7.6×105)
水素 1.0×106(7.6×103)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 100/90(50/60)
吸気口フランジ UVG-200,6BANSI,UFC-253
コンプレッサユニット C10, C10AT, C10ES
質量 Kg 20.8

*メンテナンスインターバル:16,000時間

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