製品情報 Product information

標準型クライオポンプ [20型]
CRYO-U20P

特長

  1. 大型成膜装置等の生産装置に最適。
  2. バッチ式大型成膜装置に最適。

外形寸法 (単位:mm)

標準仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 10,000
水素 18,000
アルゴン 8,400
29,000
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 1.1×103(8.7)
水素 5.0×102(3.7)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 5.8×108(4.4×106)
水素 4.6×106(3.4×104)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 180/160(50/60)
吸気口フランジ UVG-500
コンプレッサユニット C30VR
質量 Kg 69.0

*メンテナンスインターバル:16,000時間

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