製品情報 Product information

標準型クライオポンプ [12型]
CRYO-U12HL

特長

  1. 高さ方向が短くなりコンパクトなデザイン。
  2. 装置のダウンサイジングに対応。
  • 他のサイズのポンプでも製作が可能。

外形寸法 (単位:mm)

標準仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 4,000
水素 6,800
アルゴン 3,300
9,500
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 2.0×103(15.0)
水素 4.1×102(3.1)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 3.1×108(2.3×106)
水素 9.8×105(7.4×103)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 90/80(50/60)
吸気口フランジ UVG-300,10BANSI
コンプレッサユニット C30VR
質量 Kg 40

*メンテナンスインターバル:16,000時間

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