製品情報 Product information

標準型クライオポンプ [12型]
CRYO-U12H

特長

  1. 中、大規模生産装置に最適。
  2. 熱負荷に強く、多様なプロセスに対応。

外形寸法 (単位:mm)

標準仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 4,000
水素 6,000
アルゴン 3,300
9,500
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 2.0×103(15)
水素 4.1×102(3.1)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 2.1×108(1.6×106)
水素 9.8×105(7.4×103)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 85/75(50/60)
吸気口フランジ UVG-300,10BANSI
コンプレッサユニット C30VR
質量 Kg 40.0

*メンテナンスインターバル:16,000時間
*移動ベースはオプションです

商品に関するお問い合わせ

商品に関するご質問はお気軽にお問い合わせください。
コンサルタントが御社にあったプランをご提案致します。

メールで問い合わせる

商品に関する資料のダウンロードはこちら