製品情報 Product information

スパッタリングプロセス用クライオポンプ
CRYO-U12HSP

特長

  1. アルゴンの排気容量は標準機種(U12H)の約2倍。
  2. 水素の排気容量は標準機種(U12H)約1.5倍。
  3. 再生までのインターバルが長くなり、装置の稼働率の向上に貢献。

外形寸法 (単位:mm)

標準仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 4,100
水素 6,000
アルゴン 3,400
9,500
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 2.0×103(15.0)
水素 4.1×102(3.1)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 4.4×108(3.3×106)
水素 1.6×106(1.2×104)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 90/80(50/60)
吸気口フランジ UVG-300,10BANSI
コンプレッサユニット C30VR
質量 Kg 42

*メンテナンスインターバル:16,000時間
*移動ベースはオプションです

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