ULVAC CRYOGENICS INC｜[クライオポンプの技術情報 1 ]

代替フロン系コールドトラップに替わるヘリウム冷凍機を用いた極低温トラップを発売

2000年10月27日
-業界初、10分以内に冷却、昇温が可能-
代替フロン系コールドトラップに替わる
ヘリウム冷凍機を用いた極低温トラップを発売

このたびフロン系コールドトラップに替わるヘリウム冷凍機を用いた極低温スーパートラップ（スピードシリーズ TS 型、水分子に対する排気速度10,000～100,000L/s）の販売を開始いたしました。
バッチ式の真空装置や光学用の成膜装置では、真空排気時と蒸着時に基板などから放出される水を効率よく排気するために、蒸着室内または主バルブと蒸着室の間の排気ラインに極低温面を配置し、排気時間の短縮や水分の分圧の低減を図っています。
真空蒸着は、ミラー、ラジエター、ハンドル、スイッチなどの自動車部品や、メガネ、時計カバー、カメラなどの高額精密部品、化粧品容器や装飾品などの生活用品にいたるまで応用されており、それらの蒸着を行うばあいには、大量の水分子が生じるため、代替フロン系のコールドトラップが使用されています。
ところで、代替フロン（HFC）は、オゾン層を破壊しないと言われているものの、CO2の数百万から1万数千倍もの温室効果があるといわれています。地球温暖化防止京都会議での焦点ともなっていました。
今回販売する製品に使われるヘリウムガスは、オゾン層や地球温暖化係数が0で環境に問題がありません。
これまでヘリウムガスを使用した小型冷凍機では、フロン系のコールドトラップのように短時間で冷却することが技術的に困難でしたが、今回、大型の冷凍機の開発に成功したため、代替フロン系コールドトラップに代わる地球環境にやさしいトラップが商品化されました。
今回発売いたしました TS 型は、これまでの代替フロン系コールドトラップ以上の性能に設計されており、100K（ケルビン）～130K 以下の温度に到達できます。従来は、できなかった10分以内に冷却、昇温が各々完了することができる画期的なものです。
しかも、代々フロン系コールドトラップで、使用されるコンプレッサーに比べ、TS型トラップのコンプレッサーは、小型軽量で、設置場所にも制限がありません。また、冷媒の配管は、断熱の必要がなく、結露の心配もなくなりました。しかも、標準納期は、1.5ヶ月と短く、低価格な点も大きなメリットです。
また、サービス体制は、アルバックの全国サービスネットワークが利用でき、韓国、台湾等海外へも拡充する予定です。
また、すでにお使いの代替フロン系コールドトラップはばかりでなく、液体窒素トラップとの置き換えも容易です。
重要技術に関しては、特許出願中です。