[クライオポンプQ&A 1 ]

製品情報
Products

●	「ULVAC」とはどういう意味ですか？
●	「ULVAC CRYO」とはどういう意味ですか？
●	クライオポンプはどういうところに使用されていますか？
●	メンテナンス体制はどうなっていますか？

「ULVAC」とはどういう意味ですか？

「Ultimate in Vacuum」を略したもので「究極の真空」という意味です。

「ULVAC CRYO」とはどういう意味ですか？

CRYOはCryogenicsを略したもので、低温技術とか低温工学という意味です。

クライオポンプはどういうところに使用されていますか？

清浄な高真空、極高真空が要求される装置（例えば蒸着装置、スパッタリング装置、イオン注入装置、半導体プロセス装置、加速器、核融合装置、表面分析装置、スペースチャンバー等）で使用され、半導体や液晶、ディスク等の電子部品やメガネレンズなどの成膜装置等に広く応用されています。

メンテナンス体制はどうなっていますか？

弊社出荷後は、アルバックテクノ、アルバック九州等、全国20ヶ所以上のサービス拠点より、きめの細かいサービスを提供しております。

詳細については、サポートをご覧下さい。

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