製品情報
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製品情報 Product information
再生用コントロールユニット
特長
■構成
- 再生用コントロールユニット
- 電源ボックス(オプション)
- 再生ガス配管ユニット
(ドライN2ガス導入用)(PR型) - 再生用バンドヒーター(RBH型)
現在お手持ちのクライオポンプをマニュアルでご使用の場合、また新しく クライオポンプを使用する排気系や真空装置をご計画中、或いは油拡散ポンプや ターボ分子ポンプとのリプレースの場合など再生を自動的に行うことが可能です。
メインバルブのコントロールから再生終了まですべて自動で行い、カレンダータイマー を指定時間にセットすれば、装置の停止時間帯に再生を行い必要な時間までに クライオポンプをスタンバイできます。
また、ご要望のフローに合わせてシーケンスの変更が可能です。
