产品信息
Products
产品信息
标准低温泵16型
CRYO-U16
特征
- Suitable for medium and large-size equipments.
- Suitable for batch type large deposition systems.
- Resistant to thermal load.
外形尺寸（单位：mm）
标准规格
| 排气速度（20℃） | 氮气 | L/s | 5,000 |
| 氢气 | 10,000 | ||
| 氩气 | 4,200 | ||
| 水 | 16,000 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.4×103(11.0) |
| 氢气 | 4.1×102(3.1) | ||
| 排气量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 4.3×108(3.3×106) |
| 氢气 | 2.4×106(1.8×104) | ||
| 冷却下降时间 | min(Hz) | 110/100(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-400 | ||
| 压缩机装置 | C30VRT | ||
| 重量 | kg | 61.0 | |
Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
*保养周期：16,000小时
