产品信息
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产品信息
标准低温泵22型
CRYO-U22WB
外形尺寸（单位：mm）
标准规格
| 排气速度（20℃） | 氮气 | L/s | 13,000 |
| 氢气 | 16,500 | ||
| 氩气 | 11,000 | ||
| 水 | 39,000 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 3.5×103(26) |
| 氢气 | 1.3×103(9.6) | ||
| 排气量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 8.1×108(6.1×106) |
| 氢气 | 8.5×106(6.4×104) | ||
| 冷却下降时间（电力循环） | min(Hz) | 165/150(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-550 | ||
| 压缩机装置 | C30PMVRT×1 | ||
| 重量 | Kg | 125.0 | |
*保养周期：16,000小时
