产品信息

标准低温泵20型
CRYO-U20P

特征

  1. Suitable for large deposition systems and other production equipment.
  2. Suitable for batch type large deposition systems.

外形尺寸(单位:mm)

标准规格

排气速度(20℃) 氮气 L/s 10,000
氢气 18,000
氩气 8,400
29,000
极限压力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 氩气 Pa・L/s(Torr・L/s) 1.1×103(8.7)
氢气 5.0×102(3.7)
排气量 氩气 Pa・L(Torr・L) 5.8×108(4.4×106)
氢气 4.6×106(3.4×104)
冷却下降时间 min(Hz) 180/160(50/60)
吸气口法兰 UVG-500
压缩机装置 C30VR
重量 kg 69.0

*保养周期:16,000小时
Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.

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