产品信息
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产品信息
溅射镀膜专用低温泵
CRYO-U12HSP
特征
- 氩气排气量约为标准机型（U12H）的2倍。
- 氢气排气速度约为标准机型（U12H）的1.5倍。
- 有效延长了再生间隔时间，提高了装置运转率，增强了成膜品质。
外形尺寸（单位：mm）
标准规格
| 排气速度（20℃） | 氮气 | L/s | 4,100 |
| 氢气 | 6,000 | ||
| 氩气 | 3,400 | ||
| 水 | 9,500 | ||
| 极限压力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氩气 | Pa・L/s(Torr・L/s) | 2.0×103(15.0) |
| 氢气 | 4.1×102(3.1) | ||
| 排气量 | 氩气 | Pa・L(Torr・L) | 4.4×108(3.3×106) |
| 氢气 | 1.6×106(1.2×104) | ||
| 冷却下降时间 | min(Hz) | 90/80(50/60) | |
| 吸气口法兰 | UVG-300,10BANSI | ||
| 压缩机装置 | C30VR | ||
| 重量 | Kg | 42 | |
*保养周期：16,000小时
*移动底座是选购件
