产品信息

Speed TS系列

特征

可代替氟利昂冷阱

  1. 大幅缩短排气时间,提高装置的运转效率。
  2. 因使用氦气,地球暖化系数为零。
    (氟利昂冷阱的地球暖化系数为1,600~3,800)
  3. 性能等高于氟利昂冷阱。
  4. 冷却、升温均在10分钟以内完成。
  5. 有效排气速度为10,000~100,000L/s。
  6. 因轻便、紧凑,实施操作起来简单。(设置空间只需氟利昂冷阱的1/3)
  7. 最适用于水分多的批处理式装置,光学成膜装置(适用于所有真空装置)。
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