製品情報 Product information

極低温実験装置クライオスタット(Cryostat)
ウエハー冷却用クライオスタット

特長

従来のクライオスタットでは半導体をチップの状態でしか測定できませんでしたが、本クライオスタットを使用することにより、ウエハー状態で室温から極低温まで自在に温度コントロールすることができます。
また、マニピュレーターを装備しており、ウエハーを冷却しながらプロービングす ることができます。

(岩谷瓦斯社 低温機器製品 継承)

詳細図

標準仕様

冷凍機 HE05/UW404 D510/SA115・SW115 S030/SA115・SW115
到達温度 10K以下 25K 40K
温度制御範囲 10K~300K ±0.2K 25K~300K ±0.2K 40K~300K ±0.2K
最大ウエハー寸法 2インチ
サンプル部振動値 1μm以下(床振動が2μm以下)
付属品 マニピュレーター2または4基
プローバー、同軸プローバー
真空排気弁、温度制御用ヒーター
温度センサー(温度制御用、計測用)

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