製品情報 Product information

標準型クライオポンプ [CRYO-TORR]
CRYO-TORR10

特長

  1. ご要望により、CTI製クライオポンプをご用意いたします。

標準仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 3,000
水素 3,000
アルゴン 2,500
9,000
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 2.7×103(19)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 2.0×108(1.5×106)
水素 1.2×106(9.1×103) *1
水素 2.4×106(1.8×104) *2
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 45(60)
吸気口フランジ 10BANSI
質量 Kg 39.0

*メンテナンスインターバル:16,000時間
*水素の排気容量は、吸着平衡圧力が下記に到達するまでの総排気量。
*1:(5×10-8Torr)
*2:(5×10-6Torr)

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