製品情報 Product information

スパッタリングプロセス用クライオポンプ
CRYO-U8HSP

特長

  1. スパッタリングプロセスに最適。
  2. アルゴンの排気量は従来機種(U8H)の約2.5倍。
  3. 水素の排気速度は従来機種(U8H)の約1.2倍に向上。
  4. 再生までのインターバルが長くなり、装置の稼働率の向上に貢献。
  5. マルチ運転(最大3台)が可能。

外形寸法 (単位:mm)

標準仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 1,700
水素 3,200
アルゴン 1,400
4,000
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 1.2×103(8.9)
水素 2.4×102(1.8)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 2.5×108(1.9×106)
水素 1.0×106(7.8×103)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 110/100(50/60)
吸気口フランジ UVG-200,6BANSI,UFC-253
コンプレッサユニット C10,C10ES
質量 Kg 33.2

*メンテナンスインターバル:16,000時間

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