製品情報 Product information

スパッタリングプロセス用クライオポンプ
CRYO-U10HSP

外形寸法 (単位:mm)

標準仕様

排気速度(20℃) 窒素 L/s 2,400
水素 3,600
アルゴン 2,000
6,900
到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 1.30×103(9.8)
水素 2.1×102(1.6)
排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 2.0×108(1.5×106)
水素 1.2×106(9.0×103)
冷却降下時間
(電力サイクル)
min(Hz) 120/110(50/60)
吸気口フランジ UVG-250,10BANSI
コンプレッサユニット C15R
質量 Kg 36.0

*メンテナンスインターバル:16,000時間
*移動ベースはオプションです

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