製品情報
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製品情報 Product information
標準型クライオポンプ [6型]
CRYO-U6H
特長
- 軽量・コンパクト、標準品で最も小型のポンプ。
- 実験室、研究室における小型の真空装置に最適。
- マルチ運転（最大3台）が可能。
- 超高真空（10-8Pa以下）が可能。
外形寸法 (単位:mm)
標準仕様
| 排気速度(20℃) | 窒素 | L/s | 750 |
| 水素 | 1,100 | ||
| アルゴン | 620 | ||
| 水 | 2,100 | ||
| 到達圧力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | アルゴン | Pa・L/s(Torr・L/s) | 1.1×103(7.9) |
| 水素 | 1.1×102(0.8) | ||
| 排気容量 | アルゴン | Pa・L(Torr・L) | 5.6×107(4.2×105) |
| 水素 | 3.1×105(2.3×103) | ||
| 冷却降下時間 (電力サイクル) | min(Hz) | 80/70(50/60) | |
| 吸気口フランジ | UVG-150,UFC-203 | ||
| コンプレッサユニット | C10/C10T, C10AT | ||
| 質量 | Kg | 19 | |
*メンテナンスインターバル：16,000時間
