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科学研究製品
 

アルバック・クライオは、長年培った真空技術と極低温技術をベースに、半導体や液晶製造等の真空装置に数多くの
クライオポンプを搭載、販売し、豊富な実績を重ねてまいりました。

近年、クライオポンプに使用しているGM冷凍機は、超伝導などを利用した分野にもその用途を広げてまいりました。

4K冷凍機やパルスチューブ冷凍機などの需要が拡大していくなか、豊富な実績に裏付けられた極低温冷凍機は、
先端産業や科学研究開発のご期待にお応えいたします。


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[ 4K冷凍機 ]
4K冷凍機
[ クライオポンプ ]クライオポンプ [ スーパートラップ ]
スーパートラップ
● 液体ヘリウムフリーを実現した閉サイクルヘリウムガス循環式GM冷凍機を使用。
● 冷凍能力は50Hz、無負荷時の値です。
● 4〜30型まで標準品としてご用意しています。
● 超高真空クライオポンプもご用意しております。
● 真空中の水分排気に効果を発揮します。
● ターボ分子ポンプとの併用で大幅な排気時間短縮が可能です。
● 様々な設計が可能です。
►その他の極低温冷凍機
[関連PDF資料]
4K冷凍機UR4K03(PDF 160K)
4K冷凍機UR4K10(PDF 628K)
►その他の標準型クライオポンプ スーパートラップ
[関連PDF資料]
スパートラップ
SpeedシリーズTS型
(PDF 432K)
スパートラップ
温調器STC-1Cシリーズ
(PDF 136K)
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