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スパッタリングプロセス用クライオポンプ
特長
・アルゴンに対する排気容量が格段に大きいです。
| 1.CRYO-U8HSP |
・アルゴンの排気容量は従来機種（U8H）の約2.5倍
・水素の排気速度は約1.2倍に向上
*アルゴンガスを2.5×10 2 Pa・L/sで連続導入し、導入停止5分後の圧力を示します。
このポンプの詳細性能については、U8HSP の製品情報をご覧下さい。 |
| 2.CRYO-U12HSP |
・アルゴンの排気容量は従来機種（U12H ）の約2倍
・水素の排気速度は約1.5倍に向上
*アルゴンを200sccmで連続導入し、導入停止5分後の圧力を示します。
このポンプの詳細性能については、U12HSP の製品情報をご覧下さい。 |
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