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蒸着装置用クライオポンプ 特長 ・水に対する排気速度が非常に大きいです。 ・クリーンな真空が得られます。 ターボ分子ポンプ、油拡散ポンプとの比較（10型での比較例） 排気速度 L/s H2O N2 クライオポンプ 6,900 2,300 油拡散 3,000 3,000 ターボ分子ポンプ 1,500 1,500 ※クライオポンプは水（H 2O）に対して 特に大きな性能を持ちます。 その他の口径でお探しの場合には ご希望のクライオポンプの口径をクリックして下さい。 [4型] [6型] [8型] [10型] [12型] [16型] [20型] [22型] [30型] [特型クライオポンプ]