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イオン注入用クライオポンプ
特長
・水素に対する排気速度、排気容量が非常に大きいです。
| 1.CRYO-U8H
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・水素の排気容量は従来機種の約3倍以上
・水素の排気速度は約1.3倍に向上
このポンプの詳細性能については、U8Hの製品情報をご覧下さい。
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| 2.CRYO-U12HSP |
・水素の排気容量は従来機種（U12H）の約1.6倍
このポンプの詳細性能については、U12HSPの製品情報をご覧下さい。 |
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