耐蝕性クライオポンプ --腐食性ガスの排気専用-- ポンプ内のインナーキット等に特殊コーティングを施すことにより、耐食性の格段の向上が望めます。 色々な用途への応用が広がります。 *コーティングは仕様により異なります。