SpeedシリーズTS型 ■特長 1. 冷却、昇温各5分程度 2. もうフロンは不要です･･･He（ヘリウム）ガスを冷媒に使用 3. フロン系コールドトラップと同様に使用可能 4. 軽量コンパクト･･･設置スペースが約1/3 5. 水分の多いパッチ式装置、光学用成膜装置に最適･･･あらゆる真空装置に使用可能 6. 特許出願中