ベーカブルタイプ --極高真空に最適-- ベーカブルタイプのクライオポンプは、ポンプケースを150℃〜200℃に加熱することにより容易に10-8Pa以下の極高真空を得ることができます。 CTI製品を除く機種はベーカブルタイプの製作が可能です。）