標準型クライオポンプ [8型] CRYO-U8HSP ■特長 1. スパッタリングプロセスに最適。 2. アルゴンの排気量は従来機種(U8H)の約2.5倍。 3. 水素の排気速度は従来機種(U8H)の約1.2倍に向上。 4. 再生までのインターバルが長くなり、装置の稼働率の向上に貢献。 5. マルチ運転（最大3台）が可能。 ■標準仕様 排気速度(20℃) 窒素 L/s 1,700 水素 3,200 アルゴン 1,400 水 4,000 到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9) 最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 1.2×103(8.9) 水素 2.4×102(1.8) 排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 2.5×108(1.9×106) 水素 1.0×106(7.8×103) 冷却降下時間 (電力サイクル) min(Hz) 110/100(50/60) 吸気口フランジ UVG-200,6BANSI,UFC-253 コンプレッサーユニット C10,C10E,C10ES 質量 Kg 33.2 *メンテナンスインターバル：12,000時間 ポンプとコンプレッサーの組み合わせはこちらへ