■標準仕様
| 排気速度(20℃) |
窒素 |
L/s |
1,700 |
| 水素 |
2,700 |
| アルゴン |
1,400 |
| 水 |
4,000 |
| 到達圧力 |
Pa(Torr) |
10-7(10-9) |
| 最大流量 |
アルゴン |
Pa・L/s(Torr・L/s) |
1.2×103(8.9) |
| 水素 |
2.4×102(1.8) |
| 排気容量 |
アルゴン |
Pa・L(Torr・L) |
1.0×108(7.6×105) |
| 水素 |
1.0×106(7.6×103) |
冷却降下時間
(電力サイクル) |
min(Hz) |
100/90(50/60) |
| 吸気口フランジ |
UVG-200,6BANSI,UFC-253 |
| コンプレッサーユニット |
C10/C10E |
| 質量 |
Kg |
20.8 |
*メンテナンスインターバル：12,000時間
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