標準型クライオポンプ
[4型]
CRYO-U4H |
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■特長
| 1. |
4型のクライオポンプで最高の排気特性を発揮します。 |
| 2. |
高い排気速度は、排気効率と生産性の向上に寄与します。 |
| 3. |
特に半導体製造装置のスパッタプロセスや小規模の装置に適しています。 |
| 4. |
１台のコンプレッサーで4台までのポンプを運転することが可能です。 |
| 5. |
ご使用の用途に合わせた設計、製作が可能です。 |
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■標準仕様
| 排気速度(20℃) |
窒素 |
L/s |
450 |
| 水素 |
500 |
| アルゴン |
370 |
| 水 |
1,100 |
| 到達圧力 |
Pa |
10-7 |
| 最大流量 |
アルゴン |
Pa・L/s |
1.3×103 |
| 排気容量 |
アルゴン |
Pa・L |
1.0×107 |
| 水素 |
1.5×103 |
| 冷却降下時間 |
min(50/60Hz) |
45/50 |
| 質量 |
Kg |
14.5 |
*メンテナンスインターバル：12,000時間
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詳しい製品情報はこちらのPDFからDownloadできます。[CRYO-U4H] 
ポンプとコンプレッサーの組み合わせはこちらへ |
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