■標準仕様
| 排気速度(20℃) |
窒素 |
L/s |
10,000 |
| 水素 |
18,000 |
| アルゴン |
8,400 |
| 水 |
29,000 |
| 到達圧力 |
Pa(Torr) |
10-7(10-9) |
| 最大流量 |
アルゴン |
Pa・L/s(Torr・L/s) |
1.1×103(8.7) |
| 水素 |
5.0×102(3.7) |
| 排気容量 |
アルゴン |
Pa・L(Torr・L) |
5.8×108(4.4×106) |
| 水素 |
4.6×106(3.4×104) |
冷却降下時間
(電力サイクル) |
min(Hz) |
160/140(50/60) |
| 吸気口フランジ |
UVG-500 |
| コンプレッサーユニット |
C30VR |
| 質量 |
Kg |
69.0 |
*メンテナンスインターバル：12,000時間 |
