■標準仕様
| 排気速度(20℃) |
窒素 |
L/s |
5,000 |
| 水素 |
10,000 |
| アルゴン |
4,200 |
| 水 |
16,000 |
| 到達圧力 |
Pa(Torr) |
10-7(10-9) |
| 最大流量 |
アルゴン |
Pa・L/s(Torr・L/s) |
1.6×103(12) |
| 水素 |
4.5×102(3.4) |
| 排気容量 |
アルゴン |
Pa・L(Torr・L) |
4.3×108(3.3×106) |
| 水素 |
2.4×106(1.8×104) |
冷却降下時間
(電力サイクル) |
min(Hz) |
120/110(50/60) |
| 吸気口フランジ |
UVG-400 |
| コンプレッサーユニット |
C30VR |
| 質量 |
Kg |
61.0 |
*メンテナンスインターバル：12,000時間
*移動ベースはオプションです |
