標準型クライオポンプ [16型] CRYO-U16 ■特長 1. 中、大型生産装置に最適です。 2. バッチ式大型成膜装置に最適。 3. 熱負荷に強いタイプ。 ■標準仕様 排気速度(20℃) 窒素 L/s 5,000 水素 10,000 アルゴン 4,200 水 16,000 到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9) 最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 1.4×103(11.0) 水素 4.1×102(3.1) 排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 4.3×108(3.3×106) 水素 2.4×106(1.8×104) 冷却降下時間 (電力サイクル) min(Hz) 110/100(50/60) 吸気口フランジ UVG-400 コンプレッサーユニット C30VR 質量 Kg 61.0 *メンテナンスインターバル：12,000時間 *移動ベースはオプションです ポンプとコンプレッサーの組み合わせはこちらへ