■標準仕様
| 排気速度(20℃) |
窒素 |
L/s |
4,100 |
| 水素 |
6,000 |
| アルゴン |
3,400 |
| 水 |
9,500 |
| 到達圧力 |
Pa(Torr) |
10-7(10-9) |
| 最大流量 |
アルゴン |
Pa・L/s(Torr・L/s) |
2.0×103(15.0) |
| 水素 |
4.1×102(3.1) |
| 排気容量 |
アルゴン |
Pa・L(Torr・L) |
4.4×108(3.3×106) |
| 水素 |
1.6×106(1.2×104) |
冷却降下時間
(電力サイクル) |
min(Hz) |
90/80(50/60) |
| 吸気口フランジ |
UVG-300,10BANSI |
| コンプレッサーユニット |
C30VR |
| 質量 |
Kg |
42 |
*メンテナンスインターバル：12,000時間
*移動ベースはオプションです |
