標準型クライオポンプ [12型] CRYO-U12HL ■特長 1. 高さ方向が短くなりコンパクトなデザイン。 2. 装置のダウンサイジングに対応。 * 他のサイズのポンプでも製作が可能。 ■標準仕様 排気速度(20℃) 窒素 L/s 4,000 水素 6,800 アルゴン 3,300 水 9,500 到達圧力 Pa(Torr) 10-7(10-9) 最大流量 アルゴン Pa・L/s(Torr・L/s) 2.0×103(15.0) 水素 4.1×102(3.1) 排気容量 アルゴン Pa・L(Torr・L) 3.1×108(2.3×106) 水素 9.8×105(7.4×103) 冷却降下時間 (電力サイクル) min(Hz) 90/80(50/60) 吸気口フランジ UVG-300,10BANSI コンプレッサーユニット C30VR 質量 Kg 40 *メンテナンスインターバル：12,000時間 ポンプとコンプレッサーの組み合わせはこちらへ