■標準仕様
| 排気速度(20℃) |
窒素 |
L/s |
2,400 |
| 水素 |
3,600 |
| アルゴン |
2,000 |
| 水 |
6,900 |
| 到達圧力 |
Pa(Torr) |
10-7(10-9) |
| 最大流量 |
アルゴン |
Pa・L/s(Torr・L/s) |
8.0×102(6.0) |
| 水素 |
1.5×102(1.1) |
| 排気容量 |
アルゴン |
Pa・L(Torr・L) |
1.0×108(7.8×105) |
| 水素 |
6.7×105(5.0×103) |
冷却降下時間
(電力サイクル) |
min(Hz) |
150/135(50/60) |
| 吸気口フランジ |
UVG-250 |
| コンプレッサーユニット |
C15R |
| 質量 |
Kg |
29.0 |
*メンテナンスインターバル：12,000時間
*移動ベースはオプションです |
