ULVAC CRYOGENICS, INC.
PRODUCTS GUIDE

¡áCRYO PUMP의 특징
1.CRYO PUMP내부에 Oil을 일체 사용하지 않으므로, 청정한 진공을 얻을수 있습니다.
2.다른 Pump에 비해 특히 H2O에 대한 배기속도가 최대입니다.
3.CRYO PUMP 기동후는, 개별로 단독운전이 가능하므로, Rotary Pump (Dry Pump)가 불필요해 Running Cost를 절감할 수 있습니다.
4.어떤 방향(360도)으로도 장착이 가능합니다.
5.Compact한 디자인으로 가볍습니다.
6.조작이 간단합니다.
7.Ion Pump나 Turbo분자Pump에 비해 큰 배기속도를 얻을수 있습니다.


¡áAPPLICATIONS

1.

 경량, Compact, 표준품으로 무엇보다도 소형의 Pump.
2.실험실, 연구실에서 사용하기에 적합한 소형의 진공장치.
3.Multi운전(최대3대)이 가능.
4.초고진공(10-8Pa이하)이 가능.


¡áPRODUCTS

CRYO PUMP의 Catalog로 이용하여 주십시요. º» HOME PAGE 제품 이외에도 설계, 제작이 가능합니다. 자세한 사항은, Webmaster  로 문의하여 주십시요.

¡á¡Ü STANDARD PRODUCTS
Type Model Name
6" U6H ¡¿ ¡¿ ¡¿
8" U8H U8H-U U8HSP U8HL
10" U10PU ¡¿ ¡¿ ¡¿
12" U12H U12HSP U12HL ¡¿
16" U16 U16P ¡¿ ¡¿
20" U20P ¡¿ ¡¿ ¡¿
22" U22H ¡¿ ¡¿ ¡¿
30" U30H ¡¿ ¡¿ ¡¿


¡á¡Ü TOKUGATA
BAKEABLE TYPE L TYPE 부식방지 CRYO PUMP 진동방지 TYPE SUPER TRAP형


¡á¡Ü COMPRESSERS
Combination of cryopump and compressor unit
C10 C10E C15V C30V/C30MV


¡á¡Ü OPTIONAL PARTS
¡Ü재생용 CONTROL UNIT ARC형
¡Ü재생용 가스배관 UNIT PR형
¡Ü재생용 BAND HEATER
¡ÜCRYO 열전대 온도계 MBS
¡ÜCRYO METER MBD형
¡ÜDT-1 DIODE TEMPERATURE SENSOR
¡ÜDIODE SENSOR DS-1형
¡ÜDIODE INDICATOR DI-1형


¡á¡Ü MAINTENANCE PARTS



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