극고진공에 최적

Bakeable Type의 CRYO PUMP는, Pump Case를 150℃～200℃로 가열함으로써 간단하게 10^-8Pa이하의 극고진공을 얻을수 있습니다.

장치의 Compact화에 공헌

냉동기 Unit를 측면에 붙임으로써 상하의 길이를 최소한으로 줄인 것입니다.

부식성가스의 배기전용

Pump내의 Inner Kit등에 특수 코팅을 함으로써 부식방지의 현격한 향상을 기대할수 있습니다.

여러용도에의 응용이 넓어집니다.

 *코팅은 사양에 따라 다릅니다.

더욱 적은 진동을 실현

진동방지 Bellow가 붙어있는 CRYO PUMP의 예이며, 용도에 적합한 진동방지형 CRYO PUMP의 설계제작을 하고 있습니다.

(CTI제품을 제외한 기종은 진동방지 Type의 제작이 가능합니다.)

 *Motor의 진동을 억제한 저진동 Motor사양도 있습니다.

H₂O의 배기전용

1단식 냉동기를 사용한 극저온 Trap입니다.

LN₂가 필요없어, 시간, Cost면에서도 유리합니다.