| ■ | ACCESSORIES
| 재생용
CONTROL UNIT ARC형 |
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| ■ | COMPONENTS (ARC regeneration control unit) |
| ●Regeneration control uni | ----Model ARC |
| ●Power box | ----Option |
| ●Regeneration gas purge (unit for dry N2 purge) | ----Model PR |
| ●Band heater | ----Model RBH |
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현재
보유하고계신
CRYO PUMP를 Manual로
사용하실 경우,
새로운CRYO
PUMP를 사용하는 배기계나
진공장치를 계획중이거나, 또는
유확산펌프나
터보분자펌프와
바꿀경우등 재생을
자동적으로 행하는
것이 가능합니다.
Main
Valve의
Control에서 재생종료까지
전부 자동으로
행하여져, Calendar Timer를
지정시간에 맞추어
놓으면,
장치의
정지시간대에 재생을
행하여 필요한
시간까지CRYO PUMP를
Stand-By할
수 있습니다.
또한, 필요한 공정에
맞추어 실행순서의
변경이 가능합니다. |
| 재생용 가스배관
UNIT PR형 |
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재생시의 드라이N2가스 Purge Unit입니다.
확실하게 승온시간을 단축합니다. |
| 재생용
BAND HEATER |
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CRYO
PUMP의
승온시간을 단축시켜 물의 증발을
촉진시키고
Roughing시간을
단축함으로써 재생과 다음재생까지의 Pump 가동시간을
길게 하여 장치의
가동율을 향상시켜 줍니다.
또한, 얇은 Band
Type이므로 좁은Space에도 부착이
간단합니다.
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■SPECIFICATIONS
| Type |
Cryopump |
Outside Dimension (mm) |
Current (Amp.) |
Fuse |
| Max |
Nomal |
(A) |
| RBH-6 |
U6H |
170×490 |
1.3 |
0.2 |
5 |
| RBH-8 |
U8H |
170×650 |
1.5 |
0.4 |
5 |
| U8H-U |
| CT-8 |
| RBH-10 |
U10PU |
170×850 |
2.7 |
0.4 |
5 |
| RBH-12 |
U12H |
190×930 |
2.9 |
0.6 |
5 |
| CT-10 |
| RBH-16 |
U16 |
260×1,270 |
5.0 |
0.9 |
10 |
| U16P |
| RBH-20 |
U20P |
260×1,655 |
7.5 |
1.5 |
10 |
| RBH-22 |
U22H |
320×1,900 |
11.5 |
2.0 |
20 |
| RBH-30 |
U30H |
320×2,500 |
14.6 |
2.7 |
30 |
Electrical requirements: 200VAC, single phase 50/60Hz (available for 100VAC)
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| CRYO 열전대 온도계
MBS |
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CRYO
열전대
온도계는
Noise에 강한 Sheath형으로
CRYO
PUMP운전의 원격 감시와
자동화에 최적입니다.
| ● |
극저온10K(-263℃)에서350K(77℃)의
고온까지 폭넓은
온도측정을 할 수
있습니다.
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내장되어
있는
2개의
접점출력은,
CRYO PUMP의 15K CRYO Panel의
온도가 한쪽은
20K이하에서
ON, 다른 한쪽은 100K～350K(임의
설정이 가능)
이상에서
ON이
되어,
CRYO PUMP의 재생시의
신호로 사용할 수
있습니다.
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| ● |
Noise에
강한Sheath형으로
컴팩트한 구조입니다.
|
|
80K
Shield 온도측정용의
CA선과
15K CRYO Panel 온도측정용의
금철(Au-0.07%Fe)-chromel선의Sheath형
열전대가 하나의
Flange로 Setting되어 있습니다.
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| ● |
CRYO Panel의
온도를
3단계로
나누어 램프로
표시합니다.
|
|
CA열전대의
출력은,
그대로
기전력으로 낼수
있독록 CA선용
출력 단자로 끌어
놓았습니다.
금철-chromel
열전대의
출력은,
CRYO PUMP의
운전상태와 펌프
정지후의 승온과정을 3단계로
나누어 램프로
표시합니다. |
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■SPECIFICATIONS
| Temperature range | 80K shield1 | CA thermocouple |
| 15K cryopanel | Cryogenic thermocouple |
| Temperature display | Lamp display |
| ●Red: above280K |
| ●Yellow: 20 to 280K |
| ●Green: below20K |
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Set points | Lower point | On at 20K below
|
| Higher point | On at 280K above
|
| Contact capacity | AC48V × 0.5A, DC24V × 0.5A
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Analog output of cryogenic thermocouple | 5V(10K) to 0V(350K) |
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Electrical requirement | DC24V ±10%, 100mA |
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Analog output of CA thermocouple | -9mV to 0mV |
| Dimensions(mm) | Body | 90width x 45depth x 62height (without themocouple) |
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Length of thermocouple | - | MBS2 | MBS3
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| Cryopump | U6H, U8H, U8H-U, U8HSP, U10PU, U12H, CT-8, CT-10 | U16, U16P, U20P, U22H, U30H |
| Cryogenic thermocouple | 500 | 500 |
| CA Thermocouple | 500 | 1000 |
|
| CRYO METER MBD형 |
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종래형(MBM)을 Digital화 하여, 보다 컴팩트한 디자인이 되었습니다.
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● | CRYO 열전대 온도계 MBS형과의 접속으로 인하여, CRYO-PUMP의 정확한 온도를 Digital로 표시하여, 원격감시 할 수 있습니다.
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● | CRYO 열전대 온도계 MBS형의 전원으로도 사용할 수 있습니다. |
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■SPECIFICATIONS
| Power requirement |
AC 100V±10% |
| Output Power(MBS) |
DC 24V |
| Range |
10～30K(accuracy±1K) |
| 10～350(accuracy±2% of full scale) |
Input power cable
Analog signal input cable
Power supply cable (MBS) |
3m
5m
5m |
| Weight |
520g |
|
| DT-1
DIODE TEMPERATURE SENSOR |
|
10K～320K의
광범위한 온도측정을
할 수 있습니다. 그리고,
이
범위 내에서 임의의 2점의 온도를 설정하여, 접점신호로
사용할 수 있으므로 자동화에
도움이 됩니다.
| DS-1 | -----------Diode sensor |
| DI-1 | -----------Diode Indicator |
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| DIODE SENSOR DS-1형 |
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| Measurment range |
10K～320K |
| Accuracy |
±0.5K at 20K
±0.025×T（K) at another temperature |
| Sensitivity |
Larger than 20mV/K at 17K or below
2.7mV/K atbove 20K |
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| DIODE INDICATOR DI-1형 |
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| Temperature range |
10K～320K(analog indication) |
| Accuracy of indication |
±(2.5K + 2.5% of meter reading) |
| Electrical requirements |
AC100V、0.1A、50/60Hz |
| Temperature set points |
High and low temperature set points, adjustable range from 10 to 320K |
| Recorder output |
0～2V |
| Power cable |
3m |
| Sensor cable |
5m(standerd) |
| Weight |
2Kg |
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