| ■ | CRYOPUMPS (STANDARD) 8" TYPE
U8H table start
| CRYO-U8H |
 |
| ■ |
FEATURES |
| 1. |
경량,Compact로
출하대수도 많은,CRYO PUMP의
Standard. |
| 2. |
실험장치, 소형생산장치에
적합. |
| 3. |
Multi운전(최대3대)이 가능. |
| 4. |
초고진공(10-8Pa이하)이 가능. |
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■ | SPECIFICATIONS |
|
Pumping speeds(20℃) | Nitrogen |
L/s |
1,700 |
| Hydrogen |
2,700 |
| Argon |
1,400 |
| Water |
4,000 |
| Ultimate pressure |
Pa(Torr) |
10-7(10-9) |
| Maximum throughput |
Argon |
Pa・L/s(Torr・L/s) |
1.2×103(8.9) |
| Hydrogen |
2.4×102(1.8) |
| Pumping capacity |
Argon |
Pa・L(Torr・L) |
1.0×108(7.6×105) |
| Hydrogen |
1.0×106(7.6×103) |
| Cooldown time |
min(Hz) |
100/90(50/60) |
| Mounting flange |
UVG-200,6BANSI,UFC-253 |
| Compressor unit |
C10/C10E |
| Weight of cryopump |
kg |
20.8 |
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U8H -Utable start
| CRYO-U8H-U |
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| ■ |
FEATURES |
| 1. |
CTI CRYO CT-8과 완전 호환기. |
| 2. |
CT-8에 비해 H2의 배기특성이
우수하다. |
| 3. |
Multi운전(최대3대)이 가능. |
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■ | SPECIFICATIONS |
|
Pumping speeds(20℃) | Nitrogen |
L/s |
1,700 |
| Hydrogen |
2,700 |
| Argon |
1,400 |
| Water |
4,000 |
| Ultimate pressure |
Pa(Torr) |
10-7(10-9) |
| Maximum throughput |
Argon |
Pa・L/s(Torr・L/s) |
1.2×103(8.9) |
| Hydrogen |
2.4×102(1.8) |
| Pumping capacity |
Argon |
Pa・L(Torr・L) |
1.0×108(7.6×105) |
| Hydrogen |
1.0×106(7.6×103) |
| Cooldown time |
min(Hz) |
100/90(50/60) |
| Mounting flange |
UVG-200,6BANSI |
| Compressor unit |
C10/C10E |
| Weight of cryopump |
kg |
20.3 |
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|
U8HSP table start
| CRYO-U8HSP |
 |
| ■ |
FEATURES |
| 1. |
Sputtering Process에 최적. |
| 2. |
Ar의 배기량은
종래기종(U8H)의 약2.5배. |
| 3. |
H2의 배기속도는
종래기종(U8H)의 약1.2배 향상. |
| 4. |
재생과
다음 재생사이의 Pump 가동시간을 길게 하여 장치의 가동을
향상. |
| 5. |
Multi운전(최대3대)이 가능. |
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|
■ | SPECIFICATIONS |
|
Pumping speeds(20℃) | Nitrogen |
L/s |
1,700 |
| Hydrogen |
3,200 |
| Argon |
1,400 |
| Water |
4,000 |
| Ultimate pressure |
Pa(Torr) |
10-7(10-9) |
| Maximum throughput |
Argon |
Pa・L/s(Torr・L/s) |
1.2×103(8.9) |
| Hydrogen |
2.4×102(1.8) |
| Pumping capacity |
Argon |
Pa・L(Torr・L) |
2.5×108(1.9×106) |
| Hydrogen |
1.0×106(7.8×103) |
| Cooldown time |
min(Hz) |
110/100(50/60) |
| Mounting flange |
UVG-200,6BANSI,UFC-253 |
| Compressor unit |
C10,C10E,C10ES |
| Weight of cryopump |
kg |
33.2 |
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|
U8HL table start
| CRYO-U8HL |
 |
| ■ |
FEATURES |
| 1. |
상하의
길이가 짧고, Compact한
디자인. |
| 2. |
장치의 Downsizing에
대응. |
| 3. |
Multi운전(최대3대)이 가능. |
| * |
다른
사이즈의 Pump로도
제조가 가능. |
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■ | SPECIFICATIONS |
|
Pumping speeds(20℃) | Nitrogen |
L/s |
1,500 |
| Hydrogen |
2,200 |
| Argon |
1,200 |
| Water |
4,000 |
| Ultimate pressure |
Pa(Torr) |
10-7(10-9) |
| Maximum throughput |
Argon |
Pa・L/s(Torr・L/s) |
1.2×103(8.9) |
| Hydrogen |
1.6×102(1.2) |
| Pumping capacity |
Argon |
Pa・L(Torr・L) |
1.6×108(1.2×106) |
| Hydrogen |
1.2×106(9.0×103) |
| Cooldown time |
min(Hz) |
100/90(50/60) |
| Mounting flange |
UVG-200 |
| Compressor unit |
C10,C10E,C10ES |
| Weight of cryopump |
kg |
20 |
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Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
[6" Type] [8" Type] [10" Type] [12" Type] [16" Type] [20" Type] [22" Type] [30" Type]
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