| ■ | CRYOPUMPS (STANDARD) 12" TYPE
U12H table start
| CRYO-U12H |
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| ■ |
FEATURES |
| 1. |
중, 대규모
생산장치에 최적. |
| 2. |
열부하에
강하고, 다양한 Process에
대응. |
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■ | SPECIFICATIONS |
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Pumping speeds(20℃) | Nitrogen |
L/s |
4,000 |
| Hydrogen |
6,000 |
| Argon |
3,300 |
| Water |
9,500 |
| Ultimate pressure |
Pa(Torr) |
10-7(10-9) |
| Maximum throughput |
Argon |
Pa・L/s(Torr・L/s) |
2.0×103(15) |
| Hydrogen |
4.1×102(3.1) |
| Pumping capacity |
Argon |
Pa・L(Torr・L) |
2.1×108(1.6×106) |
| Hydrogen |
9.8×105(7.4×103) |
| Cooldown time |
min(Hz) |
85/75(50/60) |
| Mounting flange |
UVG-300,10BANSI |
| Compressor unit |
C30V |
| Weight of cryopump |
kg |
40.0 |
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U12HSP table start
| CRYO-U12HSP |
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| ■ |
FEATURES |
| 1. |
Ar의 배기용량은
표준기종(U12H)의 약2배. |
| 2. |
H2의 배기용량은
표준기종(U12H)의 약1.5배. |
| 3. |
재생과
다음 재생사이의 Pump가동시간을
길게 하여 장치의 가동을 향상. |
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■ | SPECIFICATIONS |
|
Pumping speeds(20℃) | Nitrogen |
L/s |
4,100 |
| Hydrogen |
6,000 |
| Argon |
3,400 |
| Water |
9,500 |
| Ultimate pressure |
Pa(Torr) |
10-7(10-9) |
| Maximum throughput |
Argon |
Pa・L/s(Torr・L/s) |
2.0×103(15.0) |
| Hydrogen |
4.1×102(3.1) |
| Pumping capacity |
Argon |
Pa・L(Torr・L) |
4.4×108(3.3×106) |
| Hydrogen |
1.6×106(1.2×104) |
| Cooldown time |
min(Hz) |
90/80(50/60) |
| Mounting flange |
UVG-300,10BANSI |
| Compressor unit |
C30V |
| Weight of cryopump |
kg |
42 |
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|
U12HL table start
| CRYO-U12HL |
 |
| ■ |
FEATURES |
| 1. |
상하의
길이가 짧고, Compact한
디자인. |
| 2. |
장치의 Downsizing에
대응. |
| * |
다른
사이즈의 Pump로도
제작이 가능. |
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|
■ | SPECIFICATIONS |
|
Pumping speeds(20℃) | Nitrogen |
L/s |
4,000 |
| Hydrogen |
6,800 |
| Argon |
3,300 |
| Water |
9,500 |
| Ultimate pressure |
Pa(Torr) |
10-7(10-9) |
| Maximum throughput |
Argon |
Pa・L/s(Torr・L/s) |
2.0×103(15.0) |
| Hydrogen |
4.1×102(3.1) |
| Pumping capacity |
Argon |
Pa・L(Torr・L) |
3.1×108(2.3×106) |
| Hydrogen |
9.8×105(7.4×103) |
| Cooldown time |
min(Hz) |
90/80(50/60) |
| Mounting flange |
UVG-300,10BANSI |
| Compressor unit |
C30V |
| Weight of cryopump |
kg |
40 |
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Wide Variety of Models, ranging from 6" diameter to 30" diameter.
[6" Type] [8" Type] [10" Type] [12" Type] [16" Type] [20" Type] [22" Type] [30" Type]
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