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世界最大級のクライオポンプ(52型)が人工衛星機器試験場で稼動
宇宙開発事業団筑波センターの人工衛星機器試験装置（6mφ放射計チャンバー：製作(株)日立製作所)の真空を作る、主排気に当社の世界最大級52型クライオポンプ(口径：1.5m)が採用され、4台のクライオポンプを製作し納入しました。
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52型クライオポンプ
人工衛星機器試験装置
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資料提供：宇宙開発事業団、(株)日立製作所 |
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| 52型クライオポンプの仕様 |
| 排気速度 |
N2: |
61,000 L/s |
| H2: |
84,000 L/s |
| H2O: |
186,000 L/s |
| 到達圧力 |
1x10-6Pa以下 |
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