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クライオポンプQ&A
 
アルバック・クライオに寄せられた様々なご質問を[会社編][技術編] [メンテナンス編]の項目別にまとめました。お知りになりたいご質問内容をクリックください。
■会社編

●
「ULVAC」とはどういう意味ですか？
● 「ULVAC CRYO」とはどういう意味ですか？
● クライオポンプはどういうところに使用されていますか？
● メンテナンス体制はどうなっていますか？

■技術編

●
クライオポンプとは、どういうポンプですか？排気の原理を説明してください。
● 排気スピードはどうやって計るのですか？
● 排気容量とは何ですか？またどうやって計るのですか？
● 再生はどうやるのですか？再生を早くするにはどうするのですか?
● 冷却降下時間とは何ですか?
● 「最大流量」とは何ですか?
● 熱負荷に強いとか、弱いとか言いますが、熱負荷とは何ですか?
● クロスオーバーとは何ですか?
● 安全弁はどの位で働きますか？
● 気体の排気は何ケルビンからですか？
● 「ケルビン」とは何ですか？
● クライオポンプのベーキングはどうやるのですか？
● バンドヒーターの温度は何度まで上がりますか？
● 耐食性のポンプはありますか?
● すべてのガスを排気できますか?
● 再生の時、水を引きすぎてロータリーポンプへ水が行って困る。
上手い解決の方法はありますか？
● 他のポンプと一緒に使えますか？
● クライオポンプに使用されている冷凍機の「冷凍の原理」を簡単に説明して下さい。
● ディスプレーサーの中はどうなっていますか？
● なぜ、高純度ヘリウムガスでないといけないのですか？
● コンプレッサーの油はなくなりませんか？
● 50Hzと60Hzでどういう違いが出ますか？
● クライオポンプの振動が問題になることはありませんか？
● スパッタ専用のポンプはありますか？
● エッチング装置に使用されていますか?
● クライオポンプの排気能力のチェック方法は？
● 吸着パネルの良否の判定はどうすれば良いですか？
● クライオポンプの到達圧力はどの位ですか？

■メンテナンス編

●
日常の保守はどうすれば良いですか？
● メンテナンスはどういう事をするのですか？
● クライオポンプの耐用年数はどの位ですか？
● 有害ガスを排気したポンプのメンテナンスは？
● 休日の連絡はどうすればよいのですか？
● 使用しているうちにHeガスが減る事がありますか？
● トラブルの時の対応は？
● フレキホースをはずしてもHeガスは洩れませんか？
● 海外のメンテナンス体制はどうなっていますか？
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