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保守点検のポイント 7 クライオポンプをベストコンディションでお使いいただくために。 クライオポンプは信頼性が高く、長期間の連続運転が可能なように設計、製作されていますが、定期的なメンテナンスが必要です。 日常の点検のポイントをご確認いただくことにより、万が一トラブルを未然に防ぐことができます。 保守・点検のポイント 7 [ポンプアセンブリ] 1. クライオパネルの温度 （クライオパネルの温度をチェック。） → 20K未満→正常 20K以上→異常 2. CA熱電対によるシールド温度 （CA熱電対の起電力をチェック。） → -5.5mV〜-7.0mV→正常 -5.5mV以上→異常 （上記ともに室温20℃の時） 3. クライオポンプの音、振動 （聴覚、体感） → 周期的、規則的→正常 不規則→異常 [コンプレッサーユニット] 4. 運転中のヘリウムガス（供給）圧力 （コンプレッサーユニットの圧力計[SUPPLY]を読んでチェック。） → 機種によって異なりますので、「取り扱い説明書」の値で判断して下さい。 5. 積算(時間)計(E.T.M) （コンプレッサーユニットの積算計で運転時間をチェック。） → 機種によって異なりますので、「取り扱い説明書」によりアドソーバー(油吸着器)、冷凍機のシール、ベアリングなど交換してください。 6. コンプレッサーユニットの音、振動（聴覚、体感） 7. 冷却水の流量、入口温度(水冷の場合) （冷却水の流量、入口温度をチェック。） → 取扱説明書のグラフ参照